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半導體產業不可或缺的曝光機，是「這些企業」的心血結晶！
www.stockfeel.com.tw
光源領域的強者—從原理上看，曝光機的工作原理，就是讓光穿過光掩模，然後通過一系列透鏡將其縮小，最終落在覆蓋...
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UV曝光機光學
www.control-optics.com
曝光機主要原理是利用紫外線通過光罩、底片等圖案模版，並搭配顯影劑使用，去除晶圓表面的光阻，以形成積體電路圖...
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第一章緒論
ir.nctu.edu.tw
本實驗分別使用I-line與DUV光阻，故曝光機使用有ASML/400DI-line步進.式曝光機使用365nm波長之汞燈為曝光光源，其...
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ASML 第二代EUV 曝光機開發傳瓶頸
technews.tw
2021年6月10日—極紫外光曝光機（EUV）目前是先進半導體製程，不論DRAM或晶圓代工生產提升效能的關鍵。荷蘭商艾司...
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變型照明技術--Off-Axis Illumination(OAI) :微影技術
www.ctimes.com.tw
但是隨著線路的CD越來越小，我們就必須需要更短波長光源的曝光機，因此曝光機的波長從汞燈的G-line(0.436微米)、I...
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曝光機
zh.wikipedia.org
可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contactaligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機...
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微型化步進式曝光系統
www.tiri.narl.org.tw
2020年9月22日—提供曝光機光學設計、機構設計、精密光學元件製作與系統組裝量測等服務。本產品使用UV-LED陣列作為...
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真空科技
tpl.ncl.edu.tw
綜觀目前國外曝光機光源多為使用UV高壓汞燈來當作投射燈源,另包含了一橢圓球面.鏡、光學積分器、一平行透鏡。而為...